表面欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小塩豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-139086
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318338
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】被検査面が複雑な曲面である場合、装置の制御が複雑になり、表面欠陥を自動的に且つ精度良く検出することが難しいと共に、本物欠陥(要修正欠陥)であるか偽物欠陥(無修正欠陥)であるかの判定を正確に行えない場合もあるという問題があった。【解決手段】被検査体であるボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段1と、ボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置であるCCDカメラ3が取り付けられた撮像装置固定手段2と、CCDカメラ3により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその結果を出力する検査処理手段4を備えると共にこの検査処理手段4にはこの検査処理手段4により得られた欠陥検出結果から本物欠陥(要修正欠陥)であるか穴,ほこり等の偽物欠陥(無修正欠陥)であるかを判定する欠陥判定手段45を備え、照明手段1および撮像装置固定手段2の門型内部にボディ5を通過させて被検査面の欠陥検査を行う表面欠陥検査装置。

請求項（抜粋）：

被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段により得られた欠陥検出結果から本物欠陥(要修正欠陥)であるか穴,ほこり等の偽物欠陥(無修正欠陥)であるかを判定する欠陥判定手段を備え、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。

引用特許：

審査官引用 (8件)

表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-220578 出願人：日産自動車株式会社
画像処理による異物検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-203128 出願人：株式会社ニレコ
特開平4-142414

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