特許
J-GLOBAL ID：200903003174470973
リークテスト方法およびリークテスト装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-309459
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121481
出願日： 1998年10月15日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 エアリークテストとヘリウムリークテストを続けて行うことができる方法,装置を提供する。【解決手段】 回転台10(移動台)には、180°離れた2箇所にカプセル16が設置されている。カプセル16がエアリークテスト位置にある時に、カプセル16に収容されたワークに対して、エアリークテスト機構20によりエアリークテストが実行される。カプセル16が上記エアリークテスト位置から90°の角度間隔だけ離れた位置にある時、カプセル16に収容されたワークに対して、ヘリウムリークテスト機構40によりヘリウムリークテストが実行される。カプセル16が上記エアリークテスト位置から180°の角度間隔だけ離れたセット位置にある時、テスト済みのワークをカプセル16から取り出し、新しいワークをセットする。上記ワークは、上記リークテストに先立って、加圧ヘリウム環境のタンクに数時間収容される。
請求項（抜粋）：
(イ)密閉された内部空間を有するワークを、予め加圧ヘリウム環境に置く予備工程と、(ロ)移動台に配したカプセルがエアリークテスト位置にありこのカプセルに上記予備工程を経たワークが収容された状態で、カプセルを塞ぐとともにカプセルをエア通路に接続し、それからエア通路を介してカプセルに加圧エアを付与するとともにこのエア通路を閉じ、それからこのエア通路に接続された圧力センサにより、加圧エアがワークの内部空間へ侵入することに伴うカプセル内の圧力低下を検出し、それからカプセルを開くエアリークテスト工程と、(ハ)上記カプセルがヘリウムリークテスト位置にありこのカプセルに上記予備工程を経たワークが収容された状態で、カプセルを塞ぐとともに真空通路に接続し、それから真空通路に接続されたバキューム機構でカプセルを真空吸引し、この真空通路に接続されたヘリウム検出器でワークの内部空間からのヘリウムを検出するヘリウムリークテスト工程と、(ニ)上記エアリークテスト,ヘリウムリークテストのうち一方のテストが実行された後で、上記ワークを上記カプセルに収容したまま上記移動台を移動させてカプセルを一方のテスト位置から他方のテスト位置へと移す移動工程と、を備えたことを特徴とするリークテスト方法。
IPC (3件)：
G01M 3/00
, G01M 3/20
, G01M 3/32
G01M 3/00 K
, G01M 3/20 B
, G01M 3/32 B
2G067AA44
, 2G067BB31
, 2G067CC13
, 2G067DD02
