微小部品の洩れ検査方法及びこの検査方法を用いた洩れ検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313543
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232179
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】微小内容積を有する密封部品の洩れを、大リークから微小リークまでの広い範囲にわたって洩れの有無を検査する洩れ検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】部品供給手段から1個ずつ被検査体を整列手段に送給し、整列手段に1個ずつ所定の姿勢で1列に被検査体を整列させる。この整列された被検査体を空中搬送手段によって無終端搬送手段に搭載した下カプセル板の各検査カプセル内に搬送する。無終端搬送手段の搬送通路にグロスリークテストステーションとファインリークテストステーションとを配置し、これらの各テストステーションにおいてグロスリークテストとファインリークテストを実施し、双方のテストにおいて洩れ無しと判定した被検査体を良品と判定する。

請求項（抜粋）：

ヘリウムガスをボンビング処理した被検査体をエアリークテスタによってグロスリークテストを行ない、次に上記グロスリークテストにおいて洩れ無しと判定した被検査体だけをヘリウムリークディテクタによってファインリークテストを行ない、双方のテストにおいて洩れなしと判定した被検査体を良品と判定する微小部品の洩れ検査方法。

IPC (3件)：

G01M 3/00 , G01M 3/26 , G01M 3/32

FI (4件)：

G01M 3/00 K , G01M 3/26 A , G01M 3/26 C , G01M 3/32 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

洩れ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-305075 出願人：株式会社フクダ
気密試験方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-323702 出願人：株式会社日立製作所
特開昭64-015626

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