特許

J-GLOBAL ID：200903003177704843

カーボンナノチューブの導電性改善方法

発明者： 水谷 亘 ,  徳本 洋志 ,  阿部 秀和 ,  安田 歩
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-232723
公開番号（公開出願番号）：特開2004-067485
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】カーボンナノチューブの導電性を改善する方法において、該ナノチューブに対し、これを素子間を配線した状態においても、該ナノチューブに金属を含有させることの可能な方法を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブを、非酸化条件下で、導電性金属と接触させた状態で加熱することを特徴とするカーボンナノチューブの導電性改善方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

カーボンナノチューブを、非酸化条件下で、導電性金属と接触させた状態で加熱することを特徴とするカーボンナノチューブの導電性改善方法。

IPC (3件)：

C01B31/02 ,  B82B3/00 ,  H01L21/3205

FI (3件)：

C01B31/02 101F ,  B82B3/00 ,  H01L21/88 M

Fターム (17件)：

4G146AA11 ,  4G146AA16 ,  4G146AB06 ,  4G146BA04 ,  4G146CB07 ,  4G146CB19 ,  4G146DA35 ,  5F033HH00 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH15 ,  5F033MM05 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ85 ,  5F033XX10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微細な導体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-139989   出願人：日本電信電話株式会社