特許
J-GLOBAL ID：200903003199734355

基板検査方法および装置

発明者：
坂下 茂示

坂下 茂示 について


出願人/特許権者：
国際技術開発株式会社

国際技術開発株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-097186
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281165
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】 被覆材の厚さが厚い場合であっても、パターンの異常を確実に検出できるようにする。【解決手段】 検査装置50は、CSPテープ10の下方に照明部52を有し、CSPテープ10の上方に透過光53によるCSPテープ10の画像データを出力するテレビカメラ26を有する。照明部52は、緑色光照射ユニット60と、緑色光照射ユニット60の両側に設けた白色光照射ユニット62a、62bを有する。緑色光照射ユニット60は、ソルダレジスト20に対する透過率の大きな緑色光54を、CSPテープ10に垂直に照射する。白色光照射ユニット62a、62bは、CSPテープに対して傾斜した白色光をCSPテープに照射する。
請求項（抜粋）：
パターンが設けてあるとともに、基板本体より光透過率の小さな被覆材が基板本体に被覆してある基板に光を照射し、その透過光の輝度に基づいて前記パターンの異常を検知する基板検査方法であって、前記被覆材に対する透過率の大きな光を照射することを特徴とする基板検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  H01L 23/12 ,  H05K 3/00 ,  H01L 21/60 321
FI (4件)：
G01N 21/956 B ,  H05K 3/00 Q ,  H01L 21/60 321 Y ,  H01L 23/12 Z
Fターム (14件)：
2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BA08 ,  2G051BB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  5F044MM00
引用特許：
審査官引用 (2件)

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