特許
J-GLOBAL ID:200903003223272082
インクジェット記録ヘッド用ノズルおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
井出 直孝 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-078864
公開番号(公開出願番号):特開2001-260361
出願日: 2000年03月21日
公開日(公表日): 2001年09月25日
要約:
【要約】【課題】 インクジェット記録ヘッドの印字性能低下を防止する。ノズルを容易に製造する。【解決手段】 ノズルを取り囲む環状凸部に、1個ないしは複数個の切り欠きを設ける。ノズルを取り囲む環状凸部を楕円形状にする。ノズルが形成される基板の表面側に薄膜を形成した後に、段差や環状凸部以外の領域をフォトリソグラフィー法によってエッチング除去する。
請求項(抜粋):
インクを吐出するノズルの開口エッジ周囲に、前記ノズルを取り囲む環状凸部を設け、前記環状凸部に、1個ないしは複数個の切り欠きを設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド用ノズル。
IPC (3件):
B41J 2/135
, B41J 2/01
, B41J 2/165
FI (3件):
B41J 3/04 103 N
, B41J 3/04 101 Z
, B41J 3/04 102 H
Fターム (18件):
2C056EA04
, 2C056FA04
, 2C056HA16
, 2C056HA19
, 2C056HA24
, 2C056JB04
, 2C057AF44
, 2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG07
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP34
, 2C057AP53
, 2C057AP60
引用特許:
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