特許

J-GLOBAL ID：200903003289936488

露光装置

発明者： 三輪 良則
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243050
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】 光源の波長を変化させても、高精度な積算露光制御を可能とする。【解決手段】 レーザを光源とし該光源からの光を感光基板に照射する露光光学系と、前記感光基板への露光量を制御する露光量制御手段と、前記レーザの発振波長を所定の波長に変える波長可変手段とを備える露光装置において、前記感光基板に照射すべき目標露光量を前記レーザの発振波長に応じて補正する補正手段を設ける。

請求項（抜粋）：

レーザを光源とし該光源からの光を感光基板に照射する露光光学系と、前記感光基板への露光量を制御する露光量制御手段と、前記レーザの発振波長を所定の波長に変える波長可変手段とを備える露光装置において、前記感光基板に照射すべき目標露光量を前記レーザの発振波長に応じて補正する補正手段を設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-032356   出願人：株式会社ニコン