特許
J-GLOBAL ID:200903003303487080

ガス検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-145359
公開番号(公開出願番号):特開2001-041916
出願日: 2000年05月17日
公開日(公表日): 2001年02月16日
要約:
【要約】【課題】検出の対象ガスの変化が小さい場合や、緩やかな場合であっても正確にガス濃度を検出し、更に、定常的に存在する微量ガスをも検出し、測定精度の向上及び測定の信頼性の向上を図る。【解決手段】チャンバ(40)の外部のガス濃度を検出するガスセンサ(20)を設けている。ガスセンサ(20)の基準値を較正するためにチャンバ(40)の内部空気を清浄にするための触媒(50)を設けている。チャンバ(40)内に清浄空気を生成するために触媒(50)を活性化するためのヒータ(60)を設けている。チャンバ(40)は、高熱伝導率材料の筒状に形成し、ヒータ(60)の熱により上昇ガス流を生じさせ、触媒(50)によって生成された清浄空気をガスセンサ(20)に導き、ガスセンサ(20)の基準値補正を行う。
請求項(抜粋):
チャンバ(40)の外部のガス濃度をセンサ(20)によって検出する一方、触媒(50)を活性化してチャンバ(40)の内部空気を清浄にし、該清浄空気をセンサ(20)に供給して該センサ(20)の基準値を較正するガス検出装置。
IPC (8件):
G01N 27/04 ,  G01N 1/00 ,  G01N 1/00 102 ,  G01N 1/22 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/12 ,  G01N 27/416 ,  G01N 31/10
FI (9件):
G01N 27/04 N ,  G01N 1/00 C ,  G01N 1/00 102 D ,  G01N 1/22 L ,  G01N 1/22 C ,  G01N 27/12 A ,  G01N 31/10 ,  G01N 1/28 K ,  G01N 27/46 311 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 空調機器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-060692   出願人:三菱電機株式会社
  • 特開平3-185348

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