特許
J-GLOBAL ID：200903003327354978

成形金型クリーニング用シートおよびそれを用いた半導体装置の製造方法

発明者：
土田 清

土田 清 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について

, 
日立米沢電子株式会社

日立米沢電子株式会社 について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-213991
公開番号（公開出願番号）：特開2003-033922
出願日： 2001年07月13日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：
【要約】【課題】 成形金型のクリーニング効果の向上およびクリーニング作業の時間短縮化を図って製造性を向上させる。【解決手段】 枠付きクリーニング用シート31は、成形金型の合わせ面全体を覆うクリーニング用シート本体31aと、前記成形金型の合わせ面の複数のキャビティの外側の周縁部に沿って配置可能な補強枠31bとからなり、クリーニング用シート本体31aには、前記成形金型のキャビティに対応した箇所に第1貫通孔31cと、前記キャビティのエアベントに対応した箇所にエアベント用スリット31dおよびフローキャビ用切り込み部31eと、前記成形金型のポットに対応した箇所に第2貫通孔31fと、前記成形金型のランナに対応した箇所にスリット31gとが形成され、これにより、前記成形金型のクリーニング効果を向上できる。
請求項（抜粋）：
一対の第1金型と第2金型とからなる成形金型の前記第1金型と前記第2金型との間に配置して前記成形金型の内部をクリーニングする成形金型クリーニング用シートであって、前記第1金型と前記第2金型との間に配置された際に前記成形金型の合わせ面全体を覆い、前記成形金型のキャビティに対応した第1貫通孔と、前記キャビティの角部のエアベントに対応した切り込み部と、前記成形金型のポットに対応した第2貫通孔と、前記成形金型のランナに対応したスリットとが形成されたクリーニング用シート本体と、前記クリーニング用シート本体をその周縁で支持する補強部材とを有することを特徴とする成形金型クリーニング用シート。
IPC (5件)：
B29C 33/72 ,  B29C 45/02 ,  B29C 45/14 ,  H01L 21/56 ,  B29L 31:34
FI (5件)：
B29C 33/72 ,  B29C 45/02 ,  B29C 45/14 ,  H01L 21/56 T ,  B29L 31:34
Fターム (19件)：
4F202AD19 ,  4F202AH33 ,  4F202AM10 ,  4F202CA12 ,  4F202CB01 ,  4F202CB12 ,  4F202CS02 ,  4F202CS04 ,  4F206AD19 ,  4F206AH37 ,  4F206AM10 ,  4F206JA02 ,  4F206JB17 ,  4F206JQ81 ,  5F061AA01 ,  5F061BA01 ,  5F061CA21 ,  5F061DA01 ,  5F061DC01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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