特許

J-GLOBAL ID：200903003375389473

表面検査装置

発明者： 永見 理
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-120943
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292606
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】表面検査装置において、被検体の大きさの割に小型かつ簡素な構成で、表面検査の精度を向上することができるようにする。【解決手段】ウエハ5の表面検査を行う表面検査装置であって、ウエハ5の部分画像を取得する撮像ユニット40と、ウエハ5と撮像ユニット40とを相対移動して、撮像位置46を相対移動するウエハ移動機構6と、ウエハ移動機構6の相対移動量を制御して、撮像ユニット40で複数回の移動撮像を行うことにより、ウエハ5の全表面にわたる複数の部分画像を各隣接部に重複部分が形成された状態で取得する移動撮像制御部と、重複部分の画像を比較して複数の部分画像の位置合わせ処理を行うことにより、ウエハ5の全体画像情報を取得する位置合わせ処理部とを備える。【選択図】図1

請求項１：

表面に繰り返しパターンが形成された被検体の表面検査を行う表面検査装置であって、 前記被検体の部分画像を取得する撮像部と、 前記被検体と前記撮像部とを相対移動して、前記撮像部の部分画像取得位置を相対移動する移動機構と、 前記移動機構の相対移動量を制御して、前記撮像部で複数回の移動撮像を行うことにより、前記被検体の全表面にわたる複数の部分画像を、該部分画像の各隣接部に重複部分が形成された状態で取得する移動撮像制御部と、 前記複数の部分画像の前記重複部分の画像を比較して前記複数の部分画像の位置合わせ処理を行うことにより、前記被検体の全体画像情報を取得する位置合わせ処理部とを備える表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (28件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC01 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ39

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 明視野照明及び暗視野照明を有する自動検査システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-521695   出願人：ケイエルエイ-テンコールコーポレイション