特許

J-GLOBAL ID：200903021217192709

明視野照明及び暗視野照明を有する自動検査システム

発明者： アッディエゴウ ジネット
出願人/特許権者： ケイエルエイ-テンコール コーポレイション
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-521695
公開番号（公開出願番号）：特表2001-524205
出願日： 1997年11月03日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】自動化された検査システム、及び検査方法は、明視野照明、及び暗視野照明のいずれかの許で、又は両方の照明の組合わせの許で、検出し得る区別できる特徴、又は異常を有する試料の表面の人の視覚による検査に代わるものである。好適な実施例は、アフタ・ティベロップ・インスペクション・マクロ(ADIマクロ)異常検出システムであり、半導体ウエハのパターン表面の大規模な異常(即ち最小寸法範囲が約25ミクロン以上である異常)を検査する。このADIマクロ検査システムはフォトリソグラフィの現像工程後に現れる異常であって、焦点ぼけの区域(「ホットスポット」)、掻き傷、パターンの傷、大粒子(即ち、約25ミクロンの寸法範囲より大きい粒子)、余分に被着されたフォトレジスト、不均一なフォトレジストの被着、及び端縁ビード不均一除去を含む異常を検出する。2個の蛍光灯管を使用して、暗視野内の目標区域を照明し、1個の蛍光灯管を斜めの形態で使用して、明視野内の目標区域を照明する。第1、及び第2の撮像システムは、ウエハの表面の照明された目標区域から伝播するそれぞれの明視野光線、及び暗視野光線を捕集する。2個の光センサアレーのおのおのは第1、及び第2の撮像システムの異なる1個に光学的に連通する。この光センサアレーの出力はディジタルデータの流れを発生し、このディジタルデータは撮像コンピュータによって処理される。これ等のデータからの異常の検出は、試料ウエハの近くのレチクルのフィールドの間の差異影像を分析することによってなし遂げられる。

請求項（抜粋）：

明視野照明、又は暗視野照明の許で検出し得る区別できる特徴、又は異常を 有する試料の表面を検査する自動化された方法において、 対応する線状の孔に光学的にそれぞれ関連する線状の照明の1個、又はそれ 以上の光源からの光線を、同時に試料の明視野照明、及び暗視野照明を生ずる ような入射角で、試料の前記表面に当たるように指向させ、 前記光線をして試料の前記表面を横切らせ、この光線が前記表面に当たる入 射角をほぼ変化させずに、この表面を去るような相対運動を前記試料と、前記 光線とに与え、 前記光線が前記試料の前記表面に当たった後、この光線の少なくとも若干を 捕集し、この捕集された光線には明視野光路に沿って伝播する明視野光線と、 暗視野光路に沿って伝播する暗視野光線とを含んでおり、 明視野照明の許で特徴あるシグネチャを有する特徴、又は異常を検出するた め前記明視野光線を処理し、暗視野照明の許で特徴あるシグネチャを有する特 徴、又は異常を検出するため前記暗視野光線を処理し、これにより、明視野、 及び暗視野の試料の特徴、又は異常の情報を併合させることを特徴とする特徴 、又は異常を有する試料の表面を検査する自動化された方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305

FI (2件)：

G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-250847
  
• 表面疵検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-286067   出願人：住友金属工業株式会社
• 異物検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-114732   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-174348