特許
J-GLOBAL ID:200903003392146100
電子放出用電極の製造方法及びその電子放出用電極を用いた発光パネル
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-326308
公開番号(公開出願番号):特開平7-153373
出願日: 1993年11月29日
公開日(公表日): 1995年06月16日
要約:
【要約】【目的】 電子放出特性の良好なペロブスカイト型電子放出用電極を簡単かつ安価に製造できる電子放出用電極の製造方法及びそれを用いた発光パネルを提供することを目的とする。【構成】 溶融工程(ステップS1)で、R(NO3)3・nH2O で表される希土類硝酸塩とSr(NO3)2及びMn(NO3)3・nH2O の3種類の硝酸塩をエタノール等の有機溶媒に溶融し、浸漬工程(ステップS2)で、この溶液中に基板を浸漬して基板に溶液を付着させた後、余分の溶液を除去する。乾燥工程(ステップS3)で、この基板を真空容器中に入れ、乾燥させ、予備反応工程(ステップS4)で、300°Cで予備反応させる。加熱工程(ステップS5)で、基板を電気炉内に入れ、750°C程度で0.5時間加熱し、溶液中の硝酸塩からNO3 等を取り除いてペロブスカイト型複合酸化物を形成する。
請求項(抜粋):
少なくとも希土類硝酸塩を含む複数の硝酸塩が所定の溶媒に溶融された溶液を作製する溶融工程と、前記溶融工程で作製した溶液中に基板を浸漬して該基板の表面に溶液を付着させる浸漬工程と、前記浸漬工程で前記溶液が付着された基板を減圧雰囲気中で乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥工程で乾燥させた基板の溶液を加熱する加熱工程と、を含むことを特徴とする電子放出用電極の製造方法。
IPC (3件):
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/15
引用特許: