特許

J-GLOBAL ID：200903003416704338

バッキングプレート

発明者： 小田 淳一 ,  三木 修司
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-054253
公開番号（公開出願番号）：特開2002-256426
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】靭性の低いターゲットをバッキングプレートに厚さ:0.1〜1.0mmの軟ろう材層を介してろう付けすることのできるバッキングプレートを提供する。【解決手段】バッキングプレート1のターゲットろう付け面に突起部11が一体的に形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

バッキングプレートのターゲットろう付け面に突起部が一体的に形成されていることを特徴とするバッキングプレート。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531 ,  H01L 21/203

FI (3件)：

C23C 14/34 C ,  G11B 7/26 531 ,  H01L 21/203 S

Fターム (19件)：

4K029BA35 ,  4K029BA50 ,  4K029BA51 ,  4K029BD01 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC07 ,  4K029DC24 ,  5D121AA01 ,  5D121AA03 ,  5D121JJ09 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD16 ,  5F103DD27 ,  5F103DD30 ,  5F103RR04 ,  5F103RR10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平4-168267
  
• 特開昭64-052065
  
• バッキングプレート、スパッタリングターゲット-バッキングプレート組立体、スパッタリングターゲットとバッキングプレートの接合方法及びスパッタリング成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-056599   出願人：株式会社日鉱マテリアルズ
• スパッタリングターゲットのろう接方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-310050   出願人：同和鉱業株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開平4-168267
  
• 特開昭64-052065
  
• バッキングプレート、スパッタリングターゲット-バッキングプレート組立体、スパッタリングターゲットとバッキングプレートの接合方法及びスパッタリング成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-056599   出願人：株式会社日鉱マテリアルズ
• スパッタリングターゲットのろう接方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-310050   出願人：同和鉱業株式会社