特許

J-GLOBAL ID：200903003441268488

圧力センサおよびその製造方法

発明者： 江刺 正喜 ,  芳賀 洋一 ,  勝間田 卓
出願人/特許権者： 江刺 正喜
代理人 (1件)： 桑原 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-326599
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035369
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 圧力センサと光ファイバーとの接続を確実にさせる。【解決手段】 シリコン基板(3)に反射型可動ダイアフラムユニット(2)を形成し、その周囲にスペーサー(24)を兼ねた接着剤層を配し、このスペーサー(24)を光ファイバー(1)のハーフミラー層(11)に接着させ、圧力センサとさせる。

請求項（抜粋）：

円形のSiO2薄膜にて形成されたダイアフラム部の中央に円形のSiO2厚膜のメサ部とAl薄膜によって形成された光反射ミラー部を有し、周縁部にリング状のスペーサー兼接着剤層を有する反射型可動ダイアフラムユニットが、先端にハーフミラー層を有する直径125μm以下の光ファイバー先端に固定、封止されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/00 ,  G01H 9/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/00 B ,  G01H 9/00 C ,  H01L 29/84 Z