特許

J-GLOBAL ID：200903003455565450

光学式変位検出器

発明者： 境 久嘉 ,  沼田 旭 ,  胡 尚弥
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313091
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166215
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】測定に際して光路の長さを変えても、大気中の屈折率の影響を受けずに高い検出精度で変位を検出できる光学式変位検出器を提供すること。【構成】第1の真空槽1の内部に設けられた発光干渉部10と、第2の真空槽2の内部に設けられた反射鏡11とを結んで形成された光路12を真空室用ベローズ3で覆い、これらの真空槽1,2を近接離隔して光路12の長さを変化させる駆動装置5を真空槽1,2に設け、この光路12の長さ変化に基づいて変位を検出する光学式変位検出器において、これらの真空槽1,2の間に形成された加圧室7と、この加圧室7に圧力を付与する圧力制御手段8とを備え、これらの真空槽1,2の間において真空室用ベローズ3の伸縮方向に働く抵抗力を弱めて真空槽1,2が相対的に歪むことがないようにした。

請求項（抜粋）：

第1の真空槽の内部に発光干渉部を設け、第2の真空槽の内部に反射鏡を設け、前記発光干渉部と前記反射鏡とを結んで形成された光路を覆う真空室用ベローズを前記第1の真空槽と前記第2の真空槽とに連結し、前記第1の真空槽と前記第2の真空槽とを近接離隔して前記光路の長さを変化させる駆動装置を前記第1の真空槽及び前記第2の真空槽に設け、この光路の長さ変化に基づいて前記第1の真空槽と前記第2の真空槽との変位を検出する光学式変位検出器であって、前記第1の真空槽と前記第2の真空槽との間に形成された加圧室と、この加圧室に圧力を付与する圧力制御手段とを備えたことを特徴とする光学式変位検出器。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  G01B 9/02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• レーザ干渉計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-236476   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-130209
  
• 特開昭63-313002