特許

J-GLOBAL ID：200903003460060715

広幅電子ビームを有する電子加速器

発明者： ツビ・アブネリー
出願人/特許権者： アドバンスト・エレクトロン・ビームズ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-587338
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532695
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】電子ビームを発生する電子加速器が、外縁部および電子ビーム放射窓を有する真空チャンバを備える。放射窓は、中央領域および第1端部領域を有する。電子発生器は真空チャンバ内に配置され、電子を発生する。電子発生器および真空チャンバは、電子を電子ビームとして放射窓を通って外部に加速するような相互の形状および配置である。放射窓の中央領域を通過する電子は放射窓に対してほぼ垂直であり、放射窓の第1端部領域を通過する電子は放射窓に対して外方に傾斜している。外方に傾斜した電子の少なくとも一部が外縁部をはみ出す方向に向いている。

請求項（抜粋）：

外縁部と、中央領域および第1端部領域を有する電子ビーム放射窓とを有する真空チャンバと、 この真空チャンバ内に配置され、電子を発生する電子発生器とを備えた電子加速器であって、 前記電子発生器および前記真空チャンバは、電子を電子ビームとして前記放射窓を通って外部に加速するような相互の形状および配置であり、前記放射窓の中央領域を通過する電子は前記放射窓に対してほぼ垂直であり、前記放射窓の第1端部領域を通過する電子は前記放射窓に対して外方に傾斜し、この外方に傾斜した電子の少なくとも一部が前記外縁部をはみ出す方向に向いている電子加速器。

IPC (3件)：

G21K 5/04 ,  B05C 9/12 ,  G21K 5/10

FI (3件)：

G21K 5/04 E ,  B05C 9/12 ,  G21K 5/10 S

Fターム (2件)：

4F042AA22 ,  4F042DB52

引用特許：

審査官引用 (1件)

• エリアビーム型電子線照射装置の照射窓
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-346941   出願人：日新ハイボルテージ株式会社