金属複合ダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜、その形成方法、及び摺動部材

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 早川康 , 関口鶴彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-367700
公開番号（公開出願番号）：特開2006-169614
出願日： 2004年12月20日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】従来技術のDLCに比べて摩擦係数を低くし、高密着性で、耐摩耗性を有し、且つ成膜速度を向上させ、サイクルタイムを短縮させるDLC及びその製造方法を提供する。また、低摩擦係数で、耐摩耗性及び密着性に優れた保護膜を有する摺動部材及びその製造方法を提供する。【解決手段】固体カーボンターゲットを使用せず、炭化水素と不活性ガス導入雰囲気中で金属ターゲットのみをスパッタリングしつつ炭化水素を解離して基材上に形成されたダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜であって、炭素/金属元素の原子比が5〜50であることを特徴とする金属複合ダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固体カーボンターゲットを使用せず、炭化水素と不活性ガス導入雰囲気中で金属ターゲットのみをスパッタリングしつつ炭化水素を解離して基材上に形成されたダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜であって、炭素/金属元素の原子比が5〜50であることを特徴とする金属複合ダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜。

IPC (2件)：

C23C 14/06 , C23C 14/34

FI (2件)：

C23C14/06 F , C23C14/34 A

Fターム (7件)：

4K029BA34 , 4K029BA55 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029CA06 , 4K029DC03 , 4K029EA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

非晶質炭素被膜の製造方法及び非晶質炭素被覆摺動部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-357487 出願人：住友電気工業株式会社

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