特許
J-GLOBAL ID：200903068631363562

非晶質炭素被膜の製造方法及び非晶質炭素被覆摺動部品

発明者：
入江 美紀

入江 美紀 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-357487
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247060
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 耐摩耗性、密着性及び耐焼き付き性に優れ、摩擦係数を低減させた非晶質炭素被膜を形成する方法、及びこの非晶質炭素被膜を表面に有し、十分な摩擦抵抗の低減を図り、特に内燃機関においては燃費を向上することができる非晶質炭素被覆摺動部品を提供する。【解決手段】 真空槽1内に固体カーボンターゲット10a、10bと、IVa、Va、VIa族及びSiから選ばれた少なくとも1種の添加金属からなる金属ターゲット11とを配置し、これらのターゲットをスパッタリングしながら、同時に炭化水素ガスと不活性ガスを真空槽内に導入することにより、基材9上に添加金属と炭素と水素とからなる非晶質炭素被膜を形成する。非晶質炭素被膜中の水素含有率が5〜25原子%で、非晶質炭素被膜中の添加金属の割合が0.01〜30原子%であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
真空槽内のカソードに固体カーボンのターゲットと添加金属からなる金属ターゲットとを配置し、これらのターゲットをスパッタリングしながら、同時に炭化水素ガスと不活性ガスを真空槽内に導入することにより、アノードに配置した基材上に添加金属と炭素と水素とからなる非晶質炭素被膜を形成することを特徴とする非晶質炭素被膜の製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  F01L 1/14 ,  F01L 1/16 ,  F01L 1/20
FI (5件)：
C23C 14/06 F ,  C23C 14/34 S ,  F01L 1/14 B ,  F01L 1/16 ,  F01L 1/20 A
Fターム (22件)：
3G016BB04 ,  3G016BB06 ,  3G016DA12 ,  3G016EA00 ,  3G016EA24 ,  3G016FA21 ,  3G016GA02 ,  4K029AA02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BC10 ,  4K029BD04 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC06 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029EA05 ,  4K029EA09 ,  4K029FA04 ,  4K029FA05 ,  4K029JA02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (12件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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