超小型流体素子及びその作製

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-532965
公開番号（公開出願番号）：特表2005-503923
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

発明は超小型流体素子及びその作製方法に関する。この超小型流体素子は、(サンドイッチ型の)特有の構造、超小型流体素子がつくられる材料(主として、ガラス、ガラスセラミック、セラミック)、および真空成形作業に基づく超小型流体素子の特定の作製方法の点で独創的である。超小型流体素子は微細構造体及び第1の基板を有する第1の集成体を備え、微細構造体は真空下で基板上に構築されて配置される。第2の集成体は第2の基板を有し、第2の基板は、第1の集成体が予備焼結された後に、微細構造体上に配置され、熱処理により微細構造体に固着されて、第1と第2の基板の間に少なくとも1つのリセスを画定する一体型の微細構造体を形成する。

請求項（抜粋）：

超小型流体素子において、微細構造体及び第1の基板を有し、前記微細構造体が真空下で前記基板上に構築および配置される第1の集成体、及び第2の基板を有する第2の集成体であって、前記第1の集成体が予備焼結された後に前記微細構造上に配置され、熱処理により前記微細構造に固着されて、前記第1の基板と前記第2の基板の間に少なくとも1つのリセスを画定する一体型の微細構造体を形成する第2の集成体、を備えることを特徴とする超小型流体素子。

IPC (3件)：

B01J19/00 , B81B1/00 , B81C5/00

FI (3件)：

B01J19/00 321 , B81B1/00 , B81C5/00

Fターム (9件)：

4G075AA39 , 4G075BB05 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EE12 , 4G075FA01 , 4G075FA12 , 4G075FB04 , 4G075FB06

引用特許：

審査官引用 (4件)

薄グリーンシートの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-019837 出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
粉粒体の加工装置および加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-233871 出願人：ホソカワミクロン株式会社
特表平1-502890

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