特許
J-GLOBAL ID：200903003508561053
装置毎の用力監視システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-366118
公開番号（公開出願番号）：特開2000-172304
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 従来、冷却設備の冷却能力は、クリーンルーム内に設置される生産装置及びそれに関連する補機類の定格電力の総和の30%を、それらの使用電力量とし、更にそれらの使用電力量を単純に発熱量として冷却設備を設計するため、冷却設備の仕様が過剰になっていた。【解決手段】 本発明の装置毎の用力監視システムSは、外調機80、半導体製造装置等の生産装置100及びこれに関連する補機類101、102で使用される電力や灯油等の燃料のエネルギー使用量を監視する使用エネルギー監視手段1と、メンテナンスエリア11内の生産装置100からの発熱量を監視する発熱量監視手段2と、外調機80、ドライコイル103、生産冷却設備104それぞれに対して冷媒を供給する冷凍機105からの冷却熱量及び外調機80に対してボイラー106から供給される蒸気使用量を監視する熱エネルギー監視手段3とを備えている。
請求項（抜粋）：
空気清浄装置と、この空気清浄装置によって所定の空気清浄度を保持した空間内に配置された複数の生産装置と、これらの生産装置に関連する補機類と、温度調整用の冷凍手段及び蒸気発生手段とを備え、上記空間内を複数に区画して個別に空気清浄度を保持する独立空間を設けると共に各独立空間に上記各生産装置をそれぞれ個別に配置して各独立空間の温度を個別に調整する生産工場であって、上記各生産装置毎に、上記空気清浄装置、上記生産装置及びこれに関連する補機類で使用されるエネルギー使用量を監視する使用エネルギー監視手段と、上記生産装置からの発熱量を監視する発熱量監視手段と、上記冷凍機から供給される冷却水の冷却熱量及び上記蒸気生成装置から供給される蒸気使用量を監視する熱エネルギー監視手段とを備えたことを特徴とする装置毎の用力監視システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05B 11/18 Z
, F24F 11/02 P
3L060AA08
, 3L060CC10
, 3L060CC12
, 3L060EE01
, 3L060EE44
, 5H004GA28
, 5H004GA36
, 5H004GB20
, 5H004HA01
, 5H004HA02
, 5H004HB01
, 5H004HB02
, 5H004HB05
, 5H004HB20
, 5H004KC03
, 5H004MA42
