特許

J-GLOBAL ID：200903003539724368

ウエハ搬送装置およびウエハ載置台

発明者： 佐藤 雅昭 ,  藤田 直丈
出願人/特許権者： ゼテック株式会社
代理人 (1件)： 山広 宗則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204322
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021951
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ間に汚染が伝達することがなく、また構成が簡易であり、さらにウエハをあらゆる姿勢で安定して保持することができるウエハ搬送装置、およびそのウエハ搬送装置によって搬送されるウエハが円滑に搬送されるために載置される載置台を提供する。【解決手段】 ウエハWの後端周縁を保持する周溝10が外周面に形成された第一保持ピン5を設けた保持ロッド1と、ウエハの左前端周縁を保持する周溝10が外周面に形成された第二保持ピン6およびウエハの右前端周縁を保持する周溝10が外周面に形成された第三保持ピン7を設けた保持アーム2と、第一保持ピン5と第二保持ピン6と第三保持ピン7とでウエハを把持すべく、保持ロッド1を前方に付勢するばね3と、ウエハWを開放すべく、ばね3で付勢された保持ロッド1を、ばね3の付勢に抗して後方に進退移動させる進退機構4と、を備えてなる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハを搬送する装置であって、ウエハの後端周縁を保持する周溝が外周面に形成された第一保持ピンを設けた保持ロッドと、ウエハの左前端周縁を保持する周溝が外周面に形成された第二保持ピンおよびウエハの右前端周縁を保持する周溝が外周面に形成された第三保持ピンを設けた保持アームと、前記第一保持ピンと第二保持ピンと第三保持ピンとでウエハを把持すべく、前記保持ロッド又は保持アームを前方又は後方に付勢するばねと、ウエハを開放すべく、前記ばねで付勢された前記保持ロッド又は保持アームを、ばねの付勢に抗して後方又は前方に進退移動させる進退機構と、を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 B ,  B65G 49/07 D

Fターム (5件)：

5F031BB01 ,  5F031CC12 ,  5F031CC33 ,  5F031CC34 ,  5F031CC45

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウェハ側面把持移送半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-316803   出願人：財団法人韓国電子通信研究所
• 特開昭53-018389
  
• 特開昭53-018389