特許
J-GLOBAL ID:200903003562803704
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-383306
公開番号(公開出願番号):特開2003-186186
出願日: 2001年12月17日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】 露光時の感度及び現像後のレジストパターンの解像性に優れるとともに、テンティング用では膜破れのない強靭な硬化膜を有し、耐めっき性が良好な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体からなるバインダー用樹脂、20〜90質量%、(b)特定の化合物を含む光重合可能な不飽和化合物、9〜79質量%、(c)光重合開始剤としてN-アリ-ル-α-アミノ酸化合物、0.005〜0.5質量%、(d)塩基性染料、0.005〜0.5質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を製造する。
請求項(抜粋):
(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体からなるバインダー用樹脂、20〜90質量%、(b)下記一般式(I)で表される化合物を含む光重合可能な不飽和化合物、9〜79質量%、(c)光重合開始剤としてN-アリ-ル-α-アミノ酸化合物、0.005〜0.5質量%、(d)下記一般式(II)で表される塩基性染料、0.005〜0.5質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1、R2はH又はCH3であり、これらは同一であっても相違してもよく、AはC2H4、BはC3H6、n1+n2は2〜30の整数、n3+n4は0〜30の整数、n1、n2は1〜29の整数、n3、n4は0〜29の整数である。-(A-O)-及び-(B-O)-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよい。)【化2】(式中、R3はCH3又はC2H5であり、これらは同一でも異なっていてもよい。)
IPC (12件):
G03F 7/027 502
, C08F 2/44
, C08F 2/46
, C08F 4/00
, C08F 20/30
, C08F220/36
, C08F290/06
, C08F291/06
, C08F299/02
, G03F 7/004 505
, G03F 7/004 512
, H05K 3/00
FI (13件):
G03F 7/027 502
, C08F 2/44 B
, C08F 2/44 C
, C08F 2/46
, C08F 4/00
, C08F 20/30
, C08F220/36
, C08F290/06
, C08F291/06
, C08F299/02
, G03F 7/004 505
, G03F 7/004 512
, H05K 3/00 F
Fターム (102件):
2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC43
, 2H025BC65
, 2H025BC83
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CB43
, 2H025CB51
, 2H025CB55
, 2H025CC13
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 4J011PA36
, 4J011PA43
, 4J011PA65
, 4J011PA69
, 4J011PA70
, 4J011PB25
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011QA12
, 4J011QA33
, 4J011QA38
, 4J011QA46
, 4J011QB16
, 4J011RA03
, 4J011RA04
, 4J011RA12
, 4J011RA17
, 4J011SA78
, 4J011SA82
, 4J011TA03
, 4J011UA06
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J015EA04
, 4J015EA08
, 4J026AA20
, 4J026AA43
, 4J026AA45
, 4J026AA48
, 4J026AA49
, 4J026AA53
, 4J026AA54
, 4J026AA55
, 4J026AC23
, 4J026AC33
, 4J026AC36
, 4J026BA27
, 4J026BA28
, 4J026BA30
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, 4J026BB01
, 4J026BB03
, 4J026BB04
, 4J026DA02
, 4J026DA03
, 4J026DA04
, 4J026DA05
, 4J026DA12
, 4J026DA15
, 4J026DB06
, 4J026DB11
, 4J026DB36
, 4J026GA06
, 4J027AC03
, 4J027AC04
, 4J027AC06
, 4J027AC09
, 4J027AJ08
, 4J027AJ09
, 4J027BA19
, 4J027BA24
, 4J027BA26
, 4J027CA03
, 4J027CA09
, 4J027CA10
, 4J027CA25
, 4J027CA34
, 4J027CB10
, 4J027CC04
, 4J027CD10
, 4J100AL66P
, 4J100AL66Q
, 4J100BA02P
, 4J100BA02Q
, 4J100BA08P
, 4J100BA08Q
, 4J100BA34Q
, 4J100BC45P
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100CA23
, 4J100JA38
引用特許: