特許

J-GLOBAL ID：200903003562803704

感光性樹脂組成物

発明者： 五十嵐 勉 ,  高橋 淳一
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383306
公開番号（公開出願番号）：特開2003-186186
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 露光時の感度及び現像後のレジストパターンの解像性に優れるとともに、テンティング用では膜破れのない強靭な硬化膜を有し、耐めっき性が良好な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体からなるバインダー用樹脂、20〜90質量%、(b)特定の化合物を含む光重合可能な不飽和化合物、9〜79質量%、(c)光重合開始剤としてN-アリ-ル-α-アミノ酸化合物、0.005〜0.5質量%、(d)塩基性染料、0.005〜0.5質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を製造する。

請求項（抜粋）：

(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体からなるバインダー用樹脂、20〜90質量%、(b)下記一般式(I)で表される化合物を含む光重合可能な不飽和化合物、9〜79質量%、(c)光重合開始剤としてN-アリ-ル-α-アミノ酸化合物、0.005〜0.5質量%、(d)下記一般式(II)で表される塩基性染料、0.005〜0.5質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1、R2はH又はCH3であり、これらは同一であっても相違してもよく、AはC2H4、BはC3H6、n1+n2は2〜30の整数、n3+n4は0〜30の整数、n1、n2は1〜29の整数、n3、n4は0〜29の整数である。-(A-O)-及び-(B-O)-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよい。)【化2】(式中、R3はCH3又はC2H5であり、これらは同一でも異なっていてもよい。)

IPC (12件)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F 4/00 ,  C08F 20/30 ,  C08F220/36 ,  C08F290/06 ,  C08F291/06 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/00

FI (13件)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 B ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/46 ,  C08F 4/00 ,  C08F 20/30 ,  C08F220/36 ,  C08F290/06 ,  C08F291/06 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/00 F

Fターム (102件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA13 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC65 ,  2H025BC83 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CC13 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J011PA36 ,  4J011PA43 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PB25 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA12 ,  4J011QA33 ,  4J011QA38 ,  4J011QA46 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011RA04 ,  4J011RA12 ,  4J011RA17 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011TA03 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J015EA04 ,  4J015EA08 ,  4J026AA20 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA48 ,  4J026AA49 ,  4J026AA53 ,  4J026AA54 ,  4J026AA55 ,  4J026AC23 ,  4J026AC33 ,  4J026AC36 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026BB03 ,  4J026BB04 ,  4J026DA02 ,  4J026DA03 ,  4J026DA04 ,  4J026DA05 ,  4J026DA12 ,  4J026DA15 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB36 ,  4J026GA06 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AC09 ,  4J027AJ08 ,  4J027AJ09 ,  4J027BA19 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027CA03 ,  4J027CA09 ,  4J027CA10 ,  4J027CA25 ,  4J027CA34 ,  4J027CB10 ,  4J027CC04 ,  4J027CD10 ,  4J100AL66P ,  4J100AL66Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA08P ,  4J100BA08Q ,  4J100BA34Q ,  4J100BC45P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA23 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-200804
  
• 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-087049   出願人：日立化成工業株式会社
• 光重合性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-034834   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-144229   出願人：日立化成工業株式会社