特許
J-GLOBAL ID:200903003603205647
フッ素ガス発生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梶 良之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-107908
公開番号(公開出願番号):特開2002-339090
出願日: 2001年04月06日
公開日(公表日): 2002年11月27日
要約:
【要約】【課題】 高純度のフッ素ガスを安定的に発生させることのできるフッ素ガス発生装置を提供する。【解決手段】 フッ化水素を含む混合溶融塩を電気分解して高純度のフッ素ガスを生成するためのフッ素ガス発生装置であって、隔壁28によって陽極室5と陰極室7に分離された電解槽と、前記陽極室5と前記陰極室7にそれぞれガスを供給し、前記陽極室5及び前記陰極室7内を所定の圧力に維持する圧力維持手段50を備えたものである。
請求項(抜粋):
フッ化水素を含む混合溶融塩を電気分解して高純度のフッ素ガスを生成するためのフッ素ガス発生装置であって、隔壁によって陽極室と陰極室に分離された電解槽と、前記陽極室と前記陰極室にそれぞれガスを供給し、前記陽極室及び前記陰極室内を所定の圧力に維持する圧力維持手段を備えたフッ素ガス発生装置。
IPC (5件):
C25B 1/24
, B01J 7/00
, C25B 9/00
, C25B 11/04
, C25B 15/00 302
FI (5件):
C25B 1/24 A
, B01J 7/00 Z
, C25B 11/04 Z
, C25B 15/00 302 Z
, C25B 9/00 Z
Fターム (16件):
4G068DA04
, 4G068DB23
, 4G068DC01
, 4G068DD11
, 4G068DD15
, 4K011AA17
, 4K011DA09
, 4K021AA04
, 4K021CA01
, 4K021CA13
, 4K021DA03
, 4K021DA05
, 4K021DA09
, 4K021DA10
, 4K021DA13
, 4K021DC15
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平2-232386
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特開平3-104891
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フッ素セル
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-509988
出願人:ブリティッシュ・ニュークリア・フューエルズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
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特開平2-232386
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特開平3-104891
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