特許
J-GLOBAL ID:200903003636453816
ボトムゲート型薄膜トランジスタ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
, 小林 良博
, 蛯谷 厚志
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-548628
公開番号(公開出願番号):特表2009-522781
出願日: 2006年12月21日
公開日(公表日): 2009年06月11日
要約:
次を含むトランジスタが提供される:基材、ゲート電極、前記基材と前記ゲート電極との間に位置しない半導体材料、前記半導体材料と接触するソース電極、前記半導体材料と接触するドレイン電極、及び前記ゲート電極及び前記半導体材料と接触する誘電体材料。その際、前記半導体材料は、1〜99.9重量%の、1kHzにおいて3.3を超える誘電率を有するポリマー、0.1〜99重量%の、本明細書に記載の官能化ペンタセン化合物を含む。
請求項(抜粋):
トランジスタであって、
基材、
ゲート電極、
前記基材と前記ゲート電極との間に位置しない半導体材料、
前記半導体材料と接触するソース電極、
前記導半導体材料と接触するドレイン電極、及び
前記ゲート電極及び前記半導体材料と接触する誘電体材料、
を含み、前記半導体材料が、
1〜99.9重量%の、1kHzにおいて3.3を超える誘電率を有するポリマー、
0.1〜99重量%の、式Iに従う化合物を含み、
IPC (4件):
H01L 51/30
, H01L 29/786
, H01L 51/05
, H01L 51/40
FI (4件):
H01L29/28 250H
, H01L29/78 618B
, H01L29/28 100A
, H01L29/28 310J
Fターム (14件):
5F110AA16
, 5F110CC03
, 5F110CC07
, 5F110DD05
, 5F110EE03
, 5F110EE08
, 5F110EE14
, 5F110FF02
, 5F110GG05
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG42
, 5F110HK02
, 5F110HK32
引用特許:
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