特許
J-GLOBAL ID：200903003641907779

静電容量式圧力センサ装置

発明者：
青木 潤次

青木 潤次 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場エステック

株式会社堀場エステック について


代理人 (1件)： 西村 竜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-351085
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155500
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】高温用として使用可能でありながらも小型化や組立易さを改善でき且つトータルコストを削減できるといった優れた静電容量式圧力センサ装置を提供する。【解決手段】ガスの圧力を感知する静電容量式のセンサ2と、このセンサ2を加熱するヒータHと、センサ2の値から外部のチャンバのガスの圧力を表す出力信号を発生する回路部3と、センサ2およびヒータHを収容するセンサ収容部4aと、回路部3を収容する回路収容部4bと、これら各収容部を間仕切り且つヒータHで発生した熱が回路収容部4bに伝熱することを防止する伝熱防止部4cとを備えるケース4と、センサ2と回路部3とを電気的に接続するとともに、センサ2と回路部3とを安定支持する構造体としての機能および伝熱防止部4cと少なくとも同程度に各収容部間の伝熱を防止する伝熱防止体としての機能のうち少なくともいずれか一方の機能を有するコネクタ5とを具備して成るようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外部のチャンバのガスの圧力を感知する静電容量式のセンサと、 このセンサを所定の動作温度に加熱するヒータと、 前記センサで感知したキャパシタンスの値から外部のチャンバのガスの圧力を表す出力信号を発生する回路部と、 前記センサおよび前記ヒータを収容するセンサ収容部と、前記回路部を収容する回路収容部と、これら各収容部を間仕切り且つ前記ヒータで発生した熱が前記回路収容部に伝熱することを防止する伝熱防止部とを備えるケースと、 前記センサと前記回路部とを電気的に接続するとともに、前記センサと前記回路部とを安定支持する構造体としての機能および前記伝熱防止部と少なくとも同程度に各収容部間の伝熱を防止する伝熱防止体としての機能のうち少なくともいずれか一方の機能を有するコネクタとを具備して成ることを特徴とする静電容量式圧力センサ装置。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ,  G01L 19/04
FI (2件)：
G01L9/12 ,  G01L19/04
Fターム (8件)：
2F055AA11 ,  2F055BB10 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE25 ,  2F055FF01 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
  • 計測装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-135477   出願人：大亜真空株式会社, 平山昌甫
  • 温度プレートとばねとを備えた圧力トランスデュサー
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-554687   出願人：エムケーエスインストルメンツインコーポレーテッド
  • 圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-324966   出願人：エヌオーケー株式会社
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