特許
J-GLOBAL ID:200903003643537456
炉体内部に排気ダクトを有する乾燥炉
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-016116
公開番号(公開出願番号):特開2001-208475
出願日: 2000年01月25日
公開日(公表日): 2001年08月03日
要約:
【要約】【課題】 有機溶剤を含有する材料が塗布された基板を乾燥するにあたり、前記材料から揮発した有機溶剤を含むガスの結露と、それに起因する炉体、ダクト等の腐食や基板の汚染が生じないような乾燥炉を提供する。【解決手段】 有機溶剤を含有する材料が塗布された基板1を乾燥するために使用される乾燥炉であって、前記材料から揮発した有機溶剤を含むガスを炉外に排出するための排気ダクト27が、炉体内部を通るように配設されている。
請求項(抜粋):
有機溶剤を含有する材料が塗布された基板を乾燥するために使用される乾燥炉であって、前記材料から揮発した有機溶剤を含むガスを炉外に排出するための排気ダクトが、炉体内部を通るように配設されていることを特徴とする乾燥炉。
IPC (4件):
F26B 15/12
, F27B 9/02
, F27B 9/30
, F27D 17/00 105
FI (4件):
F26B 15/12 B
, F27B 9/02
, F27B 9/30
, F27D 17/00 105 G
Fターム (19件):
3L113AA02
, 3L113AB02
, 3L113AB06
, 3L113AC08
, 3L113AC46
, 3L113AC64
, 3L113AC71
, 3L113BA34
, 4K050AA05
, 4K050BA07
, 4K050BA12
, 4K050CA13
, 4K050CC10
, 4K056AA14
, 4K056BA02
, 4K056CA10
, 4K056CA15
, 4K056DC05
, 4K056DC08
引用特許:
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