特許
J-GLOBAL ID：200903003726074512
ウェーハの研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075570
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270398
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハを好適に保持でき、ウェーハ全面を研磨面へ均等に押圧することでウェーハ全面を均一に研磨し、ウェーハ表面の平坦度を向上する。【解決手段】 ウェーハ12を保持する保持装置15が、研磨定盤56の研磨面60に対面するヘッド部10と、枠材22に弾性のあるシート材24が張設されて形成され、枠材22を介してヘッド部10の研磨定盤56側に装着されることでヘッド部10とシート材24によって画された圧力室30を形成すると共に、枠材22内のシート材24の研磨定盤56側にウェーハ12を接着して保持する枠付接着シート20と、枠付接着シート20をヘッド部10に装着する装着手段と、圧力室30に圧力流体を供給する圧力流体供給手段とを具備する。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持する保持装置と、表面にウェーハを研磨する研磨面が形成された研磨定盤と、前記保持装置と前記研磨定盤とを相対的に運動させる運動機構とを備え、ウェーハを前記研磨面に摩擦させて研磨するウェーハの研磨装置において、前記保持装置は、前記研磨定盤の研磨面に対面するヘッド部と、枠材に弾性のあるシート材が張設されて形成され、前記枠材を介して前記ヘッド部の研磨定盤側に装着されることで前記ヘッド部と前記シート材によって画された圧力室を形成すると共に、前記枠材内のシート材の研磨定盤側にウェーハを接着して保持する枠付接着シートと、該枠付接着シートを前記ヘッド部に装着する装着手段と、前記圧力室に圧力流体を供給する圧力流体供給手段とを具備することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, B24B 37/04
H01L 21/304 321 H
, B24B 37/04 E
