表面欠陥の検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小塩豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-026110
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223519
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】表面欠陥を明として撮像する検査装置において、原画像が輝度傾斜を有する場合、画像処理にて原画像を全範囲同じしきい値で二値化処理しても、高輝度部分がノイズとなって表面欠陥のみを検出することが困難であった。【解決手段】被検査面Fに対して傾斜した照射角度θsで光を照射する照明手段1と、照射角度θsよりも大きい撮像角度θcで撮像する撮像手段2と、撮像手段2からの原画像を微分処理して得た微分画像から、微分画像を平滑化処理して得た平滑化画像を差分演算し、その差分画像を一定のしきい値で二値化処理して二値化画像を得る画像処理手段3を備えた表面欠陥の検査装置により、輝度傾斜成分を除去して表面欠陥のみを検出することを可能にした。

請求項（抜粋）：

被検査面に対して傾斜した照射角度で光を照射する照明手段と、照明手段に対向して配置され且つ照明手段の照射角度よりも大きい撮像角度で被検査面を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した原画像から表面欠陥を検出する画像処理手段を備え、画像処理手段が、撮像手段からの原画像を微分処理して得た微分画像から、微分画像を平滑化処理して得た平滑化画像を差分演算し、その差分画像を一定のしきい値で二値化処理して二値化画像を得る手段であることを特徴とする表面欠陥の検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 , G06T 1/00 , G06T 5/00

FI (3件)：

G01B 11/30 E , G06F 15/62 380 , G06F 15/68 320 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-108167
特開平2-093313
形状検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-028098 出願人：株式会社トキメック

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