特許
J-GLOBAL ID：200903003744591729
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075094
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267646
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：
【要約】【課題】 耐久性に優れ、低コストで作製することができる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電セラミックス層11と内部電極12a・12bが交互に積層され、内部電極12a・12bが1層毎にそれぞれ外部電極13a・13bに接続された積層型圧電アクチュエータ10において、応力緩和層14を、隣接する内部電極12a・12b間であって、10層から40層の内部電極12a・12bの間に1層ほど形成した。
請求項（抜粋）：
圧電セラミックス層と内部電極が交互に積層され、前記内部電極が1層毎に外部電極に接続された積層型圧電アクチュエータであって、応力緩和層が、隣接する内部電極間であって、10層から40層の内部電極の間に1層形成されていることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
引用特許：
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