特許
J-GLOBAL ID：200903003753640031

基板搬送台車及び基板搬送システム

発明者：
宮園 直之

宮園 直之 について

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中島 洋一郎

中島 洋一郎 について

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大坪 栄一郎

大坪 栄一郎 について

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笹川 英四郎

笹川 英四郎 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335803
公開番号（公開出願番号）：特開2003-137427
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 搬送中に基板の揺れを抑制することができる基板搬送台車を提供する。【解決手段】 本体フレーム61と、軌条に沿って本体フレームを走行可能に支持し、軌条の不連続部を通過するときに発生する衝撃を緩和するための緩衝機構を有する複数の車輪66a,66b,66cと、本体フレーム上において基板の重量を受け止めるために基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板の外周端縁部を拘束又は半拘束の状態で保持するための複数の保持爪71,72,73を有する複数の支持アーム7と、搬送路上部の両側に設けられた規制手段と干渉し、軌条の不連続部を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するガイドピース79とを具備する。
請求項（抜粋）：
本体フレームと、軌条に沿って本体フレームを走行可能に支持し、軌条の不連続部を通過するときに発生する衝撃を緩和するための緩衝機構を有する複数の車輪と、前記本体フレーム上において基板の重量を受け止めるために基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板の外周端縁部を拘束又は半拘束の状態で保持するための複数の保持爪を有する複数の支持アームと、搬送路上部の両側に設けられた規制手段と干渉し、軌条の不連続部を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するガイドピースと、を具備することを特徴とする基板搬送台車。
IPC (7件)：
B65G 49/06 ,  B61B 13/00 ,  B61B 13/02 ,  B61D 27/00 ,  B61F 5/06 ,  B61F 5/24 ,  H01L 21/68
FI (10件)：
B65G 49/06 Z ,  B61B 13/00 A ,  B61B 13/02 C ,  B61D 27/00 S ,  B61F 5/06 ,  B61F 5/24 A ,  B61F 5/24 B ,  B61F 5/24 C ,  B61F 5/24 F ,  H01L 21/68 A
Fターム (21件)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA57 ,  5F031HA12 ,  5F031HA37 ,  5F031HA45 ,  5F031HA57 ,  5F031LA12 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA03 ,  5F031MA28 ,  5F031NA07 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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