特許

J-GLOBAL ID：200903003773248421

ウエハの保持装置

発明者： 木崎原 稔郎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314427
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142561
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 汚染やチッピングを生じさせることなくウエハを搬送することができ、かつバッチ式と枚葉式のいずれの場合でも効率の良い搬送及び管理を行うことができるようにする。【構成】 ウエハ1の外周より大きい環状をなし、かつ少なくともウエハ1の厚みより大きい厚みを有する枠体11と、その枠体11の内側から枠体11の略中心に向けて延設されて、ウエハ1の周縁を着脱自在に保持するための保持部13とで保持装置10を構成する。この保持装置10においては、ウエハ1は保持部13によって枠体11の内部に確実かつ安定して保持され、また枠体11が把持部分として使用される。

請求項（抜粋）：

内部がウエハの外周より大きく、かつ少なくとも前記ウエハの厚みより大きい厚みを有する枠体と、その枠体の内側から該枠体の略中心に向けて延設されて、前記ウエハの周縁を着脱自在に保持するための保持部とからなることを特徴とするウエハの保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-025949
  
• 板状物の保持治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-271352   出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
• 特開平3-025949