特許
J-GLOBAL ID：200903003793284394
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-133145
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320994
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】ダイシング装置によるウェハの切削の際に、ウェハを洗浄してコンタミネーションによる汚染を防止することが可能なダイシング装置を提供する。【解決手段】 ウェハWを個々のダイに分割するために賽の目状に切削するダイシング装置1であって、ウェハWを切削する際に供給する洗浄水Cにメガソニック振動装置6によってメガヘルツの周波数帯域の超音波を付与し、この洗浄水CによってウェハWを洗浄するものとした。
請求項（抜粋）：
ウェハを切削して個々のダイに分割するダイシング装置であって、前記ウェハを切削する際に周波数帯域がメガヘルツの超音波を付与した洗浄水により前記ウェハを洗浄するメガソニック洗浄手段を有するダイシング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B08B 3/12
, H01L 21/304 341
H01L 21/78 F
, B08B 3/12 Z
, H01L 21/304 341 M
, H01L 21/78 Q
