特許

J-GLOBAL ID：200903003799015379

酸化アルミニウム薄膜の製造方法

発明者： 堤 信夫 ,  坂田 勘治 ,  国武 豊喜
出願人/特許権者： 新技術事業団 ,  堤 信夫 ,  坂田 勘治
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078405
公開番号（公開出願番号）：特開平5-238728
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】 分子レベルで構造制御され、比表面積が極めて大きなアルミナ薄膜を得る。【構成】 分子の両端に極性基及び疎水基がそれぞれ付加された両親媒性化合物と酸化アルミニウム超微粒子ゾルとを含有する展開液を調製し、展開液を基板上に展開する。形成された液膜から溶媒を除去し、両親媒性化合物に酸化アルミニウム超微粒子が包接された複合薄膜を得る。この複合薄膜に熱的処理又は化学的処理を施すことにより両親媒性化合物を除去し、アルミナ薄膜とする。【効果】 両親媒性化合物の分子集合体を鋳型としてアルミナ超微粒子が製膜かされる。アルミナ微粒子の配向性は、焼成によっても失われることなく、結晶配向性に異方性があり多孔質・多層状の微細構造をもったアルミナ薄膜が得られる。このアルミナ薄膜は、その構造の特異性を活用して高機能材料として各種分野で使用される。

請求項（抜粋）：

分子の両端に極性基及び疎水基がそれぞれ付加された両親媒性化合物と酸化アルミニウム超微粒子ゾルとを含有する展開液を調製し、該展開液を基板上に展開した後、前記基板上に形成された液膜から溶媒を除去することを特徴とする酸化アルミニウム複合薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

C01F 7/30 ,  B01D 71/02 ,  C23C 18/12

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 金属酸化物薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-246608   出願人：新技術事業団, 堤信夫, 坂田勘治
• 特開平2-238030
  
• 特開昭62-078106
  
• 特開平4-280802