特許
J-GLOBAL ID：200903003846581604

アライメント装置および外観検査装置

発明者：
小室 考広

小室 考広 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-281466
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095881
出願日： 2005年09月28日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】 高速に基板の中心位置を算出することができる安価なアライメント装置および外観検査装置を提供する。【解決手段】 投光部22aおよび22bは基板の周縁部に光を照射する。受光部23aおよび23bは、投光部22aおよび22bのそれぞれから照射された光を検出する。記憶部42は、受光部23aおよび23bによる検出の結果と基板の位置とが対応付けられた対応情報を記憶する。アライメント制御部41は、対応情報を用いて基板の中心位置を算出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の周縁部に光を照射する投光手段と、前記投光手段から照射された光を検出する検出手段とからなる組を2組有し、 前記検出手段による検出の結果と、基準点からの前記基板の中心位置のずれ量とが対応付けられた対応情報を記憶する記憶手段と、 前記対応情報を用いて前記基板の中心位置を算出する算出手段と、 を備えたことを特徴とするアライメント装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/027 ,  G01B 11/00
FI (4件)：
H01L21/68 F ,  H01L21/66 J ,  H01L21/30 562 ,  G01B11/00 D
Fターム (79件)：
2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA56 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD19 ,  2F065FF02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG21 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065NN02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065TT08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA08 ,  4M106CA38 ,  4M106CA50 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB18 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031GA05 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA53 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA27 ,  5F031JA36 ,  5F031JA51 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA10 ,  5F031KA11 ,  5F031MA33 ,  5F046JA27 ,  5F046KA10 ,  5F046LA19
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 国際公開第02/23623号パンフレット
  • 基板中心位置検出装置及び方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-213225   出願人：オリンパス光学工業株式会社

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