特許
J-GLOBAL ID：200903003864198826
薄膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梁瀬 右司
, 振角 正一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-268234
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111073
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】有機EL表示装置の製造ラインに組み込み可能で、しかも優れた制御性で基板に有機EL層を形成する薄膜形成装置を低コストで提供する。【解決手段】この薄膜形成装置では、インデクサ1と、インデクサ1の一方側に隣接して配置された基板処理部2と、基板処理部2に配置されて該基板処理部2を構成するユニットおよびインデクサ1との間で基板を搬送するマルチ搬送ロボット(搬送手段)22とが設けられている。基板処理部2は、正孔輸送塗布ユニット3と、正孔輸送ベークユニット4と、有機EL塗布ユニット5と、有機ELベークユニット6を装備している。未処理基板Sが収容された収容容器11をインデクサ1で受け取り可能となっている。そして、収容容器11から未処理基板Sを基板処理部2に搬送して基板Sに正孔輸送層および有機EL層を形成した後、この処理済基板Sをインデクサ1の収容容器11に戻している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機EL材料を含む液体を基板に塗布する少なくとも1つ以上の有機EL塗布ユニットと、前記有機EL塗布ユニットにより液体が塗布された基板に対して加熱処理を施す少なくとも1つ以上の有機ELベークユニットとを有する基板処理部と、
前記液体が塗布される前の未処理基板が前記基板処理部に搬出されるとともに、前記加熱処理を受けた処理済基板が前記基板処理部から搬入されるインデクサと、
前記インデクサからの未処理基板を前記有機EL塗布ユニットに搬送し、前記基板処理部に設けられた複数のユニット間で基板を搬送し、また前記有機ELベークユニットにより加熱処理された処理済基板を前記インデクサに搬送する搬送手段と
を備えたことを特徴とする薄膜形成装置。
IPC (3件)：
H05B33/10
, B05C9/14
, H05B33/14
H05B33/10
, B05C9/14
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA19
, 4F042DB01
, 4F042DF11
