特許
J-GLOBAL ID：200903003898513135

光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置

発明者：
宮田 弘幸

宮田 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-301703
公開番号（公開出願番号）：特開2000-113476
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 露光光源波長とフォーカス光源波長が異なる光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系において、前記2波長間の合焦位置ずれを解消する技術を提供する。【解決手段】 フォーカス光学系調整装置として、光ディスク原盤露光機の露光対物レンズ1に対向して、顕微鏡対物レンズ21を配置する。顕微鏡対物レンズ21の後段には、リレーレンズ22、カメラ23、表示装置24で構成されるモニタ装置を配置する。また、カメラ23の出力信号は、スポット径計測手段25へ供給する。そして、スポット径計測手段25により露光光の合焦位置を検出すると共に、フォーカス光源5、あるいはフォーカスコリメートレンズ6の位置調整によりフォーカス光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に一致させる。
請求項（抜粋）：
露光光源とフォーカス光源を別波長とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、フォーカス光軸方向に移動可能なフォーカス光源と、露光対物レンズによって形成される光スポット光束を集光する顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモニタ装置と、前記顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向に駆動する第1の駆動手段及び前記光スポット光軸に垂直な平面内の2方向に駆動する第2の駆動手段と、前記光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出するスポット径計測手段とを備え、前記スポット径計測手段により露光光の合焦位置を検出すると共に、前記フォーカス光源の位置調整によりフォーカス光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に一致させることを特徴とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置。
IPC (2件)：
G11B 7/09 ,  G11B 7/26 501
FI (2件)：
G11B 7/09 B ,  G11B 7/26 501
Fターム (9件)：
5D118AA11 ,  5D118BA01 ,  5D118BB09 ,  5D118CD02 ,  5D118DB22 ,  5D118DC03 ,  5D121BA01 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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