特許
J-GLOBAL ID：200903003898836678
プレーナ型電磁アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-345309
公開番号（公開出願番号）：特開2003-153518
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：
【要約】【課題】 一対の磁界発生手段に挟まれた半導体基板の可動部を二軸方向に揺動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記可動部が揺動するときの電力消費を低減する。【解決手段】 半導体基板2に、外側可動板3及び内側可動板4からなる可動部5と、上記外側可動板3を軸支する第1トーションバー6と、上記内側可動板を軸支する第2トーションバー7とを一体形成し、上記可動部5に駆動コイル8,9を形成し、それに磁界H0を与える磁界発生手段10a,10bが半導体基板2を挟んで対向配置して成るプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記磁界発生手段10a,10bから発生した磁界が駆動コイル8,9に与える磁気力を向上する構成とした。これにより、上記磁界H0が上記駆動コイル8,9に与える磁気力が向上し、上記可動部5が揺動するときの電力消費を低減することができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板に、枠状の外側可動板及びその内側に配置される内側可動板からなる可動部と、上記外側可動板を揺動可能に軸支する第1トーションバーと、該第1トーションバーに対して軸方向が直交し上記内側可動板を揺動可能に軸支する第2トーションバーとを一体形成し、上記外側可動板及び内側可動板の各周縁部に駆動コイルを形成し、該駆動コイルに磁界を与える一対の磁界発生手段が上記可動部の一の対角線方向にて上記半導体基板を挟んで対向配置して成るプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記一対の磁界発生手段から発生した磁界が上記可動部の駆動コイルに与える磁気力を向上する構成としたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
5H633BB02
, 5H633BB18
, 5H633GG03
, 5H633HH02
, 5H633JA02
, 5H633JB04
