特許
J-GLOBAL ID：200903003900716081
試料ステージ及びそれを用いた粒径計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-103354
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281543
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は被測定面の上下位置が所定の位置よりずれた場合であってもそれを正確に再調整することが容易にできる試料ステージを提供することにある。【解決手段】 板128を被測定面に対し直角方向へ移動可能な直角移動手段148と、該被測定面よりの反射光L3を受光し、該受光位置より被測定面の仮位置情報を得る位置検出手段142と、該反射光L3を受光し、該受光位置より被測定面の角度情報を得る角度検出手段144と、該検出手段144で得た角度情報と所定の角度情報を比較し、誤差なしでは該位置情報を真の位置情報とし、誤差ありでは該誤差に基づき該位置情報を校正し真の位置情報とする位置決定手段138と、該決定手段138で得た位置情報が所定の位置となるように該移動手段148により板128を移動させるステージ制御手段138と、を備えたことを特徴とする試料ステージ118。
請求項（抜粋）：
試料を保持する試料保持板を、試料の被測定面に対し平行方向へ移動可能な平行移動手段を備えた試料ステージにおいて、前記試料保持板を被測定面に対し直角方向へ移動可能な直角移動手段と、前記被測定面よりの反射光を受光し、該反射光の受光位置より被測定面の仮の位置情報を得るための位置検出手段と、前記反射光を受光し、該反射光の受光位置より被測定面の角度情報を得るための角度検出手段と、前記角度検出手段で得た角度情報と所定の角度情報とを比較し、誤差なしと判断したときは、前記位置検出手段で得た位置情報をそのまま真の位置情報とし、また誤差ありと判断したときは、該誤差に基づいて前記位置検出手段で得た位置情報を校正して真の位置情報とする位置決定手段と、前記位置決定手段で得た位置情報が所定の位置となるように、前記直角移動手段により試料保持板を移動させるステージ制御手段と、を備えたことを特徴とする試料ステージ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 1/28 W
, G01N 15/14 P
出願人引用 (5件)
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微粒子径測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-071375
出願人：森勇蔵, 日本分光株式会社
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半導体ウエハ検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-260201
出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社
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異物検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-320389
出願人：株式会社日立製作所
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光学式変位測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-290859
出願人：松下電工株式会社
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実装部品の検査方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-250218
出願人：松下電器産業株式会社
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引用文献：
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