特許
J-GLOBAL ID：200903003908149151
コーティング装置
出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社
大日本印刷株式会社 について
代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167021
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010055
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】回転機構に高い機械精度を必要とすることなく、また、移動機構を簡略化する。【解決手段】回転可能にされた基板支持台2と、該基板支持台の中央部に対向して上下方向移動可能に設置された塗布ヘッド5と、塗布ヘッドに長手方向に形成されたスリット5aとを備えた構成。なお、上記スリット5aの幅をセンター部で大きく、左右両端部にいくに従い小さくするようにすれば、さらに均一に塗布することができる。
請求項（抜粋）：
回転可能にされた基板支持台と、該基板支持台の中央部に対向して上下方向移動可能に設置された塗布ヘッドと、塗布ヘッドに長手方向に形成されたスリットとを備えたことを特徴とするコーティング装置。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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