特許
J-GLOBAL ID：200903003911183352

アライメント方法、描画方法、アライメント機構および描画装置

発明者：
白崎 享

白崎 享 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-192729
公開番号（公開出願番号）：特開2008-019060
出願日： 2006年07月13日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
【課題】ワークおよびワークに形成された配線に損傷を与えにくいアライメント方法およびアライメント機構を提供すること、また、ワークおよびワークに形成された配線にほとんど損傷を与えない描画方法および描画装置を提供すること。【解決手段】(a)巻出しリール84から巻取りリール85に至る搬送経路に掛け渡されたテープ80を、スプロケット71,72,76により搬送し、ステージ50に載置する。(b)テープ80を、クランプ77,78によって保持する。(c)クランプ77,78を、互いの距離を縮める方向に移動させて、テープ80に弛みを生じさせる。この状態で、可動ステージ18を移動させて、テープ80のアライメントを行う。(d)液滴吐出ヘッド90から機能液9をテープ80に吐出し、乾燥させることにより、パターンを描画する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、 巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に順に配置された第1の保持機構、第2の保持機構、第3の保持機構、第4の保持機構が保持するステップと、 前記第1の保持機構および前記第4の保持機構を、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第1の保持機構と前記第2の保持機構との間、および前記第3の保持機構と前記第4の保持機構との間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、 前記第2の保持機構および前記第3の保持機構を前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、 を有することを特徴とするアライメント方法。
IPC (6件)：
B65H 23/022 ,  H01L 21/60 ,  H01L 21/288 ,  G02F 1/13 ,  B05C 13/02 ,  H05K 3/10
FI (6件)：
B65H23/022 ,  H01L21/60 311W ,  H01L21/288 Z ,  G02F1/13 101 ,  B05C13/02 ,  H05K3/10 D
Fターム (40件)：
2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  3F104AA01 ,  3F104AA03 ,  3F104BA13 ,  4F042AA06 ,  4F042AA22 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042DB01 ,  4F042DF15 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104DD51 ,  4M104DD81 ,  5E343AA18 ,  5E343AA33 ,  5E343BB24 ,  5E343BB72 ,  5E343DD15 ,  5E343EE24 ,  5E343FF05 ,  5E343GG20 ,  5F044MM01 ,  5F044MM06 ,  5F044MM40 ,  5F044MM42 ,  5F044MM48 ,  5F044MM49
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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