特許
J-GLOBAL ID：200903003920214112

多種類のガス媒質を同時に検出するガス媒質分析装置およびガス媒質分析方法

発明者：
山口 滋

山口 滋 について

, 
和家 功一

和家 功一 について

, 
田之上 悟

田之上 悟 について


出願人/特許権者：
学校法人東海大学

学校法人東海大学 について


代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  鈴木 亨 ,  八本 佳子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-123604
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300760
出願日： 2005年04月21日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】 試料ガスに含まれる多種類のガス媒質、特に、近赤外領域に吸収帯をもつガス媒質と、中赤外領域に吸収帯をもつガス媒質の絶対濃度を同時にリアルタイムで高精度に検出可能なガス媒質分析装置およびガス媒質分析方法を提供する。【解決手段】 ファイバーレーザ1からの近赤外ポンプ光と、第1のガス媒質を検出するためのDFB半導体レーザ2からの近赤外シグナル光とを結合した合波光をPPLN結晶5に入射させて、第2のガス媒質を検出するための近赤外または中赤外の差周波光を発生し、試料ガスが封入されたマルチパスセル7を通過したシグナル光、差周波光およびポンプ光の合波光から、シグナル光および差周波光のみを同一光軸上に分離した後、このシグナル光および差周波光をMCT検出器13に入射させて同時に検出し、MCT検出器13からの電気信号に基づいて第1のガス媒質および第2のガス媒質の濃度を解析する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料ガスに含まれる複数種類のガス媒質の濃度を光学的に測定するガス媒質分析装置であって、 特定波長のポンプ光を発生する第1の近赤外光源と、 前記試料ガスに含まれる少なくとも1種類のガス媒質の吸収帯に対応する特定波長のシグナル光を発生する第2の近赤外光源と、 前記ポンプ光と前記シグナル光とを結合して合波光を生成する合波光生成手段と、 前記合波光から、前記試料ガスに含まれる他の少なくとも1種類のガス媒質における近赤外または中赤外の吸収帯に対応する前記ポンプ光と前記シグナル光との差周波光を発生する差周波光発生手段と、 前記試料ガスが封入され、前記シグナル光、差周波光およびポンプ光の合波光が入射するセルと、 前記セルを通過した近赤外の前記シグナル光およびポンプ光と、近赤外または中赤外の前記差周波光とを分離する分離フィルタと、 前記フィルタによって分離された前記シグナル光と前記ポンプ光との合波光から該ポンプ光を除去するポンプ光除去フィルタと、 前記ポンプ光除去フィルタを通過した前記シグナル光と、前記分離フィルタからの前記差周波光との光軸を同一光軸上に合わせる光軸結合手段と、 前記光軸結合手段によって光軸が合わされた前記シグナル光と前記差周波光とを同時に検出して電気信号に変換する赤外検出器と、 前記赤外検出器からの電気信号に基づいて複数種類の前記ガス媒質の濃度を解析する解析装置と、 を備えることを特徴とするガス媒質分析装置。
IPC (3件)：
G01N 21/35 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/03
FI (3件)：
G01N21/35 Z ,  G01N21/01 D ,  G01N21/03 B
Fターム (26件)：
2G057AA01 ,  2G057AB02 ,  2G057AB04 ,  2G057AB06 ,  2G057AC03 ,  2G057BA01 ,  2G057DA03 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC05 ,  2G059EE01 ,  2G059EE20 ,  2G059FF11 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01 ,  2G059LL03 ,  2G059LL04 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059NN05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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