特許
J-GLOBAL ID：200903003935169563
プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048331
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243294
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】 一対の長尺電極を有するプラズマ処理装置において、電極の歪を阻止するとともに、該歪阻止用のボルトからの放電を防止する。【解決手段】 プラズマ処理装置M1の金属筐体21内に、電極絶縁部材24を介して長尺状の第1、第2電極31,32を対向させて収容する。各電極31,32の背部には、筐体21に係着されて当該電極を押し又は引き可能な金属ボルト40,50を設ける。電源3に接続された第1電極31に螺合されたボルト50については、絶縁性のカラー60に収容し、この絶縁カラー60を筐体21に係着する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電源に接続された第1電極と、この第1電極と対向する第2電極とを備え、これら電極ど
うしの間に電界を印加するとともに処理ガスを導入してプラズマ化し、被処理物のプラズ
マ処理を行なう装置において、
前記第1、第2電極が、長尺状をなし、剛性金属製の筐体の内部に電極絶縁部材を介して
収容されており、
各電極の他方の電極との対向側とは逆側の背部には、前記筐体に係着されて当該電極を押
し又は引き可能な金属製のボルトが設けられ、
少なくとも第1電極に接合されたボルトは、絶縁性のカラーに収容され、この絶縁カラー
が、前記筐体に係着されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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