特許
J-GLOBAL ID:200903003945161820

オゾン水処理方法及びオゾン水処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 平木 祐輔 ,  関谷 三男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-267021
公開番号(公開出願番号):特開2009-097023
出願日: 2007年10月12日
公開日(公表日): 2009年05月07日
要約:
【課題】被処理材の表面形状にかかわらず、表面改質を均一に行うと共に、処理時間の短縮化を図ることができるオゾン水処理方法を提供する。【解決手段】オゾン水OWに被処理材Wを浸漬させることにより、被処理材Wの表面WSにオゾン水処理を行うオゾン水処理方法であって、オゾン水処理方法は、被処理材OWを浸漬させる際に、浸漬させるオゾン水OWに振動を付与させることにより、少なくとも被処理材OWの表面WS及びその近傍のオゾン水OWに乱流TFを発生させ、被処理材OWの表面WSに対してオゾン水処理を行う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
オゾン水に被処理材を浸漬させることにより、前記被処理材の表面に対してオゾン水処理を行うオゾン水処理方法であって、 該オゾン水処理方法は、前記被処理材を浸漬させる際に、前記浸漬させるオゾン水に低周波振動を付与することにより、少なくとも前記被処理材の表面及びその近傍の前記オゾン水に乱流を発生させ、前記被処理材の表面にオゾン水処理を行うことを特徴とするオゾン水処理方法。
IPC (1件):
C23C 18/20
FI (1件):
C23C18/20
Fターム (4件):
4K022AA13 ,  4K022BA14 ,  4K022CA14 ,  4K022DA01
引用特許:
出願人引用 (1件)

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