弾性表面波デバイスおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252289
公開番号（公開出願番号）：特開平9-098043
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】微細電極パターンを有していても挿入損失が小さく、耐電力性が高く、アフターコロージョンに優れる。【解決手段】圧電基板と、この圧電基板上に形成されたくし歯状電極部および外部接続部を少なくとも具備してなる弾性表面波デバイスにおいて、くし歯状電極部は銅または銅を主成分とする銅合金層である。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、この圧電基板上に形成されたくし歯状電極部および外部接続部を少なくとも具備してなる弾性表面波デバイスにおいて、前記くし歯状電極部は銅または銅を主成分とする銅合金層であることを特徴とする弾性表面波デバイス。

IPC (5件)：

H03H 3/08 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H03H 9/145

FI (5件)：

H03H 3/08 , H03H 9/145 Z , H01L 41/08 L , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

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