特許
J-GLOBAL ID：200903004031767556
マスク用透光板固定装置およびその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331302
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131403
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 マスク用透光板に対してくぼみあるいは反り等を発生させることがなく、また、固定操作が容易で、かつ、調整作業にも手間がかかることがないマスク用透光板固定装置およびその方法を提供することを課題とする。【解決手段】 露光装置において基板と対面して配置されるマスク用透光板Mkを固定するマスク用透光板固定装置1であって、前記マスク用透光板を支持する透光板ガイド枠2と、この透光板ガイド枠2と前記マスク用透光板Mkと対面する位置に設けた伸縮部材10と、この伸縮部材を伸張収縮させるためのエア供給排出手段20とを備える構成とした。
請求項（抜粋）：
露光装置において基板と対面して配置されるマスク用透光板を固定するマスク用透光板固定装置であって、前記マスク用透光板を支持する透光板ガイド枠と、この透光板ガイド枠と前記マスク用透光板と対面する位置に設けた伸縮部材と、この伸縮部材を伸張収縮させるためのエア供給排出手段とを備えることを特徴とするマスク用透光板固定装置。
IPC (3件)：
G03F 9/00
, G03F 7/20 501
, H05K 3/00
G03F 9/00 Z
, G03F 7/20 501
, H05K 3/00 E
2H097GA00
, 2H097KA03
, 2H097KA28
, 2H097LA09
