試料保持方法及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289305
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116886
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】平板上の試料を試料台に対して良好に保持すること。【解決手段】試料(3)を試料台(30,32)に対して静電吸着すると同時に、真空吸着する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一次元方向に移動可能な試料台上に平板状の試料を保持する試料保持方法において、前記試料を前記試料台に対して静電吸着するとともに、前記試料を前記試料台に対して真空吸着することを特徴とする試料保持方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 N , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 503 D , H01L 21/30 518

引用特許：

審査官引用 (9件)

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