特許
J-GLOBAL ID：200903004053355472

並列光ヘテロダイン検出法を用いた光干渉計測方法

発明者：
チャン キンプイ

チャン キンプイ について

, 
秋葉 正博

秋葉 正博 について


出願人/特許権者：
財団法人山形県企業振興公社

財団法人山形県企業振興公社 について


代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-025459
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214927
出願日： 2004年02月02日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：
【課題】光波の位相の空間分布を有効に検出できる並列光ヘテロダイン検出法を用いた光干渉計測方法を提供する。【解決手段】並列光ヘテロダイン検出法を用いた光干渉計測方法であって、干渉光の位相の直交成分を2台のイメージセンサ32,34を用いてそれぞれ検出することにより、イメージセンサ32,34の記録レートでの干渉光波の位相分布を測定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
連続光を出力するコヒーレント光源から出射した光ビームを第1のレンズと第2のレンズによってビーム径を広げ、さらに第1のビームスプリッタにより、信号光と参照光とに二分し、参照光と分かれた信号光は、被測定物体に入射し、該被測定物体からの反射光波の一部は第1のビームスプリッタによって反射され、一対の結像用レンズを介して第2のビームスプリッタへ伝送され、一方、参照光は周波数シフタを通過することで周波数シフトを受けた後、参照ミラーへ伝送され、該参照ミラーからの反射光波は前記周波数シフタを再び通過することで更なる周波数シフトを受け、その参照光波の一部は第1のビームスプリッタを透過して信号光と重畳することにより干渉光を生成し、該干渉光は前記一対の結像用レンズを透過して第2のビームスプリッタへ伝搬し、干渉光の位相の直交成分を2 台のイメージセンサを用いてそれぞれ検出することにより、イメージセンサの記録レートでの干渉光波の位相分布を測定することを特徴とする並列光ヘテロダイン検出法を用いた光干渉計測方法。
IPC (3件)：
G01B9/02 ,  G01N21/17 ,  G01N21/35
FI (3件)：
G01B9/02 ,  G01N21/17 630 ,  G01N21/35 Z
Fターム (36件)：
2F064AA09 ,  2F064AA15 ,  2F064CC10 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064FF03 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG53 ,  2F064GG55 ,  2F064GG59 ,  2F064GG68 ,  2F064GG70 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ05 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059FF02 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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