特許

J-GLOBAL ID：200903004053916920

基板処理装置、基板処理装置のシミュレート装置、及び基板処理装置のシミュレートプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 宮城 智彦 ,  伊藤 健一
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081706
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277401
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 基板処理装置を実際に動作させることなく、基板処理の進行状況等をシミュレートすることができるとともに、最適な投入順序等を導くこと。【解決手段】 基板群ごとに設定されたレシピを取得し、それらのレシピに応じて各基板群ごとに処理スケジュールを算出する。最初の投入対象となる基板群の処理スケジュールを時間軸の所定位置に設定し、投入順序に応じて順次に処理スケジュールを時間軸上に設定していき、複数の基板群の処理スケジュールの比較および修正を行うことにより修正済スケジュールを生成する(ステップS15)。この修正の際には、基板群ごとの処理スケジュールにおける占有時間の重複の有無を調べ、重複があった場合に占有時間の重複時間幅に応じて一方の処理スケジュールをシフトさせることにより重複の解消を行う。この結果、各基板群の最適なスケジュールが得られる。

請求項（抜粋）：

複数の処理部と、それぞれが1または複数の基板からなる複数の基板群を前記複数の処理部に順次に搬送する搬送手段とを機能手段として備え、前記複数の基板群についてそれぞれあらかじめ規定されたレシピに応じた処理を順次に行う基板処理装置であって、(a) 基板群ごとのレシピに応じた処理スケジュールを、当該基板群による各機能手段の占有時間帯の連鎖として算出する処理スケジュール算出手段と、(b) 前記占有時間帯を前記複数の基板群の処理スケジュール相互間で比較し、いずれかの占有時間帯に重複がある場合には、前記処理スケジュールを修正することにより、前記重複を回避した修正済スケジュールを得る比較修正手段と、をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-199933   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-277836   出願人：大日本スクリーン製造株式会社