特許
J-GLOBAL ID：200903004065954878
回路基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122288
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311859
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 微細パッドを持つ回路パターンにおいても十分な導通検査および短絡検査を高速に実施できる回路基板検査装置を提供する。【解決手段】 被検査基板3のテストパッドと1対1で対向する給電パッドを有し、微細パッド4の領域に対応する開口部2を持ち、被検査基板3の表裏面のテストパッドに信号を供給する2枚の給電プレート1a,1bと、多数のリレー回路を有し給電プレート1a,1bの外部接続端子と電気的に接続されたスイッチング機構6と、スイッチング機構6に信号を供給する信号源7と、微細パッド4の信号電圧を非接触で検出する電気光学プローブ8と、電気光学プローブ8をメカニカル走査する移動機構9と、移動機構9の走査制御及び走査位置に同期してスイッチング機構6のリレーを選択的にオンまたはオフし電気光学プローブ8の信号を取り込み導通・短絡判定を行う信号処理部10とで構成された回路基板検査装置である。
請求項（抜粋）：
微細パッドと被検査用テストパッドとを電気的に接続する微細な回路パターンを有する被検査基板の導通検査及び絶縁検査のための回路基板検査装置であって、前記被検査基板のテストパッドと1対1で対向する給電パッドを有し、かつ前記給電パッドが内層配線及び表層配線を通じて外部接続端子に接続されており、さらに、前記被検査基板の微細パッド領域に対応する位置に開口部を持つ、前記被検査基板のテストパッドに信号を供給する給電プレートと、多数のリレー回路を有し前記給電プレートの外部接続端子と電気的に接続されたスイッチング機構と、前記スイッチング機構に信号を供給する信号源と、前記被検査基板の微細パッドの信号電圧を非接触で検出する電気光学プローブと、前記被検査基板の個々の微細パッド上を通過するように前記電気光学プローブをメカニカル走査する移動機構と、前記移動機構の走査制御及び走査位置に同期して前記スイッチング機構のリレーを選択的にオンまたはオフし、前記電気光学プローブによる検出信号を取り込み、導通及び短絡を判定する信号処理部と、で構成されていることを特徴とする回路基板検査装置。
引用特許：
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