特許

J-GLOBAL ID：200903004074771000

圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンター

発明者： 両角 浩一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也 ,  竹腰 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-221276
公開番号（公開出願番号）：特開2007-036141
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。また、上記圧電体膜を用いた圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンターを提供する。【解決手段】 本発明にかかる圧電素子は、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜を含み、前記ペロブスカイト型酸化物において、Aサイトに優先的に位置するイオンをAサイトイオンとし、Bサイトに優先的に位置するイオンをBサイトイオンとした場合に、前記Aサイトイオンは、前記Bサイトイオンと相互置換されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜を含み、 前記ペロブスカイト型酸化物において、Aサイトに優先的に位置するイオンをAサイトイオンとし、Bサイトに優先的に位置するイオンをBサイトイオンとした場合に、前記Aサイトイオンは、前記Bサイトイオンと相互置換されている、圧電素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18

FI (5件)：

H01L41/08 C ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101A

Fターム (4件)：

2C057AF51 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-030472   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (4件)

• 圧電単結晶、圧電単結晶素子およびその製造方法ならびに1-3コンポジット圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-300055   出願人：JFEミネラル株式会社
• 圧電単結晶素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-150824   出願人：JFEミネラル株式会社
• カットされた単結晶からなる超音波変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-065343   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
• 圧電体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-026086   出願人：キヤノン株式会社, 清水勝