特許
J-GLOBAL ID:200903004074771000
圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンター
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
布施 行夫
, 大渕 美千栄
, 伊奈 達也
, 竹腰 昇
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-221276
公開番号(公開出願番号):特開2007-036141
出願日: 2005年07月29日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。また、上記圧電体膜を用いた圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンターを提供する。【解決手段】 本発明にかかる圧電素子は、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜を含み、前記ペロブスカイト型酸化物において、Aサイトに優先的に位置するイオンをAサイトイオンとし、Bサイトに優先的に位置するイオンをBサイトイオンとした場合に、前記Aサイトイオンは、前記Bサイトイオンと相互置換されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜を含み、
前記ペロブスカイト型酸化物において、Aサイトに優先的に位置するイオンをAサイトイオンとし、Bサイトに優先的に位置するイオンをBサイトイオンとした場合に、前記Aサイトイオンは、前記Bサイトイオンと相互置換されている、圧電素子。
IPC (5件):
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/187
, H01L 41/18
FI (5件):
H01L41/08 C
, B41J3/04 103A
, H01L41/18 101C
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101A
Fターム (4件):
2C057AF51
, 2C057AG44
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許: